微纳制造技术是指尺度为微米、纳米并具有特定功能的器件与系统的设计与制造技术。广义的微纳制造涵盖集成电路、微纳传感器、微纳执行器、微纳加工等四大方面。微纳制造创新中心聚焦微纳执行器和微纳加工两个方面，主要是以非硅基材料为基底、侧重机械加工、且具备跨尺度微纳精度加工能力，与集成电路及微纳传感器主要对硅等半导体进行加工、侧重电子电路、固定在微米或纳米尺度上的加工有明显区别。

先进制造领域的竞争已经重点进入微纳制造层面

微纳执行器和微纳加工作为支撑制造业向“微”“精”发展的核心技术，引领着制造业新一轮技术变革。

微纳执行器件(微纳尺度)
微纳制造技术已被广泛应用于航空航天、电子信息、医疗康养等领域,例如利用微纳制造技术制造纳米级别的微机电系统,奠定了国防军工纳米武器的基础。

微纳加工技术(微纳精度)
进行深空探测与天文空间观测所需的大口径望远镜，其特点在于口径越大，所能实现的分辨率越高。这类望远镜对光学镜头的加工精度、材料选择以及结构设计均提出了极为严苛的要求。为了满足这种跨尺度的精密加工需求，必须依赖大量的微纳制造技术及其相关工艺和装备作为坚实的支撑。